主权项 |
一种太阳电池复合减反射膜的制备工艺,首先,在玻璃基底上采用脉冲反应磁控溅射在基底上沉积TiO<sub>2</sub>‑ZnO复合膜层;然后,依次采用脉冲反应磁控溅射层叠沉积TiO<sub>2</sub>膜层、SiO<sub>2</sub>膜层及MgF<sub>2</sub>膜层;最后,将四层膜系结构的减反射薄膜样品放入退火炉内进行退火处理,得到多层减反射膜, 其特征在于:其按以下步骤实施,(1)以纯度为99.999%的Ar和O<sub>2</sub>作为溅射气体和反应气体,以钛靶和锌靶为靶材,采用脉冲反应磁控溅射在玻璃基底上沉积TiO<sub>2</sub>‑ZnO复合膜层;(2) 以纯度为99.999%的Ar和O<sub>2</sub>作为溅射气体和反应气体,以钛(Ti)靶为靶材,采用脉冲反应磁控溅射在TiO<sub>2</sub>‑ZnO复合膜层上沉积TiO<sub>2</sub> 膜层;(3)以纯度为99.999%的Ar作为溅射气体,以纯度为99.999%的SiO<sub>2</sub>靶为靶材,采用脉冲反应磁控溅射在TiO<sub>2</sub>膜层上沉积SiO<sub>2</sub>膜层;(4)以纯度为99.999%的Ar作为溅射气体,以纯度为99.99%的MgF<sub>2</sub>化合物单靶为靶材,采用脉冲反应磁控溅射在SiO<sub>2</sub>膜层上沉积MgF<sub>2</sub>膜层;(5)沉积完的减反射膜退火处理:将沉积品置于退火炉内,并充入流量40sccm的氮气,采用500<sup>o</sup>C炉温退火5 min, 得复合减反射膜成品。 |