| 发明名称 | 真空镀膜用实时膜厚修正板 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种真空镀膜用实时膜厚修正板，它属于光学真空镀膜实时膜厚修正的设备。本实用新型主要是解决现有的膜厚修正板存在的镀膜材料浪费大、镀膜不均匀和产品质量差的技术问题。本实用新型采用的技术方案是：真空镀膜用实时膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其中：它还包括旋转膜厚修正板、旋转装置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板设在膜厚修正板支架的一边，在固定膜厚修正板上设有能使旋转膜厚修正板旋转的回转导轨，旋转膜厚修正板设在固定膜厚修正板的上面并使设置在旋转膜厚修正板上的导柱位于回转导轨中，旋转装置设在固定膜厚修正板上并位于旋转膜厚修正板的一侧。 | ||
| 申请公布号 | CN204138749U | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
| 申请号 | CN201420622836.0 | 申请日期 | 2014.10.24 |
| 申请人 | 杰莱特（苏州）精密仪器有限公司 | 发明人 | 张殷;邓琪;张小飞;王静辉;吕子啸 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 山西五维专利事务所(有限公司) 14105 | 代理人 | 雷立康 |
| 主权项 | 一种真空镀膜用实时膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其特征在于：它还包括旋转膜厚修正板、旋转装置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板设在膜厚修正板支架的一边，在固定膜厚修正板上设有能使旋转膜厚修正板旋转的回转导轨，旋转膜厚修正板设在固定膜厚修正板的上面并使设置在旋转膜厚修正板上的导柱位于回转导轨中，旋转装置设在固定膜厚修正板上并位于旋转膜厚修正板的一侧。 | ||
| 地址 | 215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区杨舍镇国泰北路9号金通大厦 | ||