一种压电晶片驱动的精密步进式液压缸

摘要

本发明涉及一种压电晶片驱动的精密步进式液压缸，属于机电液一体化技术领域。缸体两端装有缸盖，双头活塞安装于缸体内部并将其分成第一和第二缸腔；第一、第二泵盖与缸体间分别压接有2-20个压电振子，构成串联泵I和串联泵II；串联泵I的出口与缸体上的第一缸腔连通，进口经管路与第一蓄能器连通、再经第一开关阀以及缸体上的第一通孔与第二缸腔连接；同样地，串联泵II的出口与缸体的第二缸腔连通，进口经管路与第二蓄能器连通、再经第二开关阀以及缸体上的第二通孔与第一缸腔连接。特色及优点是：压电振子双侧驱动流体，驱动能力强、可靠性及步进精度高，可通过一次循环一个液滴的方法实现较大行程的精密数字式步进驱动与定位控制。

主权项

一种压电晶片驱动的精密步进式液压缸，其特征在于：缸体两端通过螺钉装有缸盖；缸体中装有双头活塞，所述活塞将缸体腔分成第一、第二缸腔；缸体外壁上通过螺钉装有第一、第二泵盖；缸体外壁上设有两组数量各为2‑20个的泵腔及两个阀腔，同一组泵腔中两相邻泵腔之间、以及相邻的泵腔与阀腔之间分别通过缸体上的腔间流道串联；第一、第二泵盖上各设一组数量为2‑20个的泵腔，同一泵盖上相邻两泵腔通过其所在泵盖的腔间流道串联；在各泵腔内、及缸体上的两阀腔内均设有阀片；缸体上第一组串联泵腔和第一泵盖上的串联泵腔之间通过密封圈压接有压电振子，缸体上第一组串联泵腔的进口和第一泵盖上的串联泵腔出口连通，构成串联泵I；缸体上的第二组串联泵腔和第二泵盖上的串联泵腔之间通过密封圈压接有压电振子，缸体上的第二组串联泵腔的进口和第二泵盖上的串联泵腔的出口连通，构成串联泵II；串联泵I的出口与第一缸腔连通，进口经管路与第一蓄能器连通、再经第一开关阀及缸体的第一通孔与第二缸腔连接；同样，所述串联泵II的出口与第二缸腔连通，进口经管路与第二蓄能器连通、再经第二开关阀及缸体上的第二通孔与第一缸腔连接；串联泵I、II不同时工作；工作时，同一个串联泵中相邻两个泵腔中压电振子驱动电压的相位差为180度；串联泵I工作时，第一开关阀开启，串联泵I的进口经第一开关阀及缸体上的第一通孔与第二缸腔连通，当压电振子受电压作用产生往复弯曲变形时，泵腔内流体压力交替地增加或减小，推动活塞向左运动；串联泵II工作时，第二开关阀开启，串联泵II的进口经第二开关阀及缸体上的第二通孔与第一缸腔连通；当压电振子受电压作用产生往复弯曲变形时，泵腔内流体压力交替地增加或减小，推动活塞向右运动。