一种用于冲扫激光传输光学系统中微小颗粒的进气节流板装置

摘要

一种用于冲扫激光传输光学系统中微小颗粒的进气节流板装置，它涉及一种用于冲扫激光传输光学组件中颗粒物的进气节流板装置。本发明为了解决现有的激光传输光学组件中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤问题。冲扫进气口法兰连接在进气板的中心位置上，冲扫进气节流板连接在进气板上，冲扫进气口法兰和冲扫进气节流板分列在进气板的两侧，冲扫进气节流板与进气板之间形成冲扫进气室，冲扫进气节流板上开有多个节流孔，节流孔与进气室连通，冲扫进气口法兰的进气口与进气室连通，冲扫进气节流板的厚度为5mm。本发明用于防止冲扫气体形成紊流，保持激光传输光学组件内部的空气洁净度。

主权项

一种用于冲扫激光传输光学系统中微小颗粒的进气节流板装置，其特征在于：用于冲扫激光传输光学组件中微小颗粒的进气节流板装置包括冲扫进气口法兰(1)、进气板(2)和冲扫进气节流板(3)，所述冲扫进气口法兰(1)连接在进气板(2)的中心位置上，冲扫进气节流板(3)连接在进气板(2)上，冲扫进气口法兰(1)和冲扫进气节流板(3)分列在进气板(2)的两侧，冲扫进气节流板(3)与进气板(2)之间形成冲扫进气室(4)，冲扫进气节流板(3)上开有多个节流孔(3‑1)，节流孔(3‑1)与进气室(4)连通，冲扫进气口法兰(1)的进气口与进气室(4)连通，冲扫进气节流板(3)的厚度为5mm；冲扫进气节流板(3)上的多个节流孔(3‑1)的排布形式为矩形阵列，在冲扫进气节流板(3)的长度方向上设置22列，在冲扫进气节流板(3)的宽度方向上设置5行，相邻的两个节流孔(3‑1)之间的距离为20mm。