距离监控装置

摘要

一种距离监控装置，适用于化学机械研磨机，化学机械研磨机的研磨头包括框架及薄膜，薄膜装设于框架上，且薄膜与框架于研磨头中形成多个气囊。距离监控装置包括多个距离检测器，分别设置于气囊所对应的框架上，将各个距离检测器位于框架上的位置设为基准点，各个距离检测器用以测量各个基准点与薄膜之间的距离。本发明可使经研磨后的基材具有较佳的表面平坦度。

主权项

一种距离监控装置，适用于一化学机械研磨机，该化学机械研磨机的一研磨头包括一框架及一薄膜，该薄膜装设于该框架上，且该薄膜与该框架于该研磨头中形成多个气囊，该距离监控装置包括：多个距离检测器，分别设置于该多个气囊所对应的该框架上，其特征在于将各个距离检测器位于该框架上的位置设为一基准点，各个距离检测器用以测量各个基准点与该薄膜之间的距离。