大口径光学元件中低频面形快速检测装置和方法

摘要

本发明公开一种大口径光学元件中低频面形快速检测装置和方法，包含数控机箱、主控计算机、测量龙门架、动态干涉仪、干涉仪精调机构、工作平台、气浮导轨。动态干涉仪安装在干涉仪精调机构上，干涉仪精调机构安装于测量龙门架的横梁上，测量龙门架置于气浮导轨上，测量龙门架和干涉仪精调机构通过电缆与数控机箱连接，主控计算机与数控机箱、动态干涉仪通过信号线连接，主控计算机安装有测量主控软件、动态干涉仪测量软件及全局波面拟合评价软件。该装置可以对子孔径数据全局波面拟合获得大口径被测面的中低频面形，降低了干涉测量对环境的敏感性，降低了对测量系统几何精度的要求，设备集成度高，检测效率高，可扩展至车间环境下测量。

主权项

一种大口径光学元件中低频面形快速检测装置，包含数控机箱（104）、主控计算机（105）、测量龙门架（106）、动态干涉仪（107）、干涉仪精调机构（108）、工作平台（102）、气浮导轨（103），其特征在于：所述动态干涉仪（107）安装在所述干涉仪精调机构（108）上，所述干涉仪精调机构（108）安装于所述测量龙门架（106）的横梁上，测量龙门架（106）置于气浮导轨（103）上，被测件（101）放置于所述的工作平台（102）上，所述测量龙门架（106）和所述干涉仪精调机构（108）通过电缆与所述数控机箱（104）连接，所述主控计算机（105）与所述数控机箱（104）通过信号线连接，所述主控计算机（105）与所述动态干涉仪（107）通过信号线连接。