发明名称 | 具有旋转式遮光器的脱气腔室的UV灯总成 | ||
摘要 | 具有旋转式遮光器的UV灯总成。每个旋转式遮光器具有有反射凹面的凹壁。旋转式遮光器可在打开位置和关闭位置之间共同地旋转。在打开位置,旋转式遮光器不阻挡UV灯的UV光线离开UV灯总成,而在关闭位置,旋转式遮光器阻挡UV光线离开UV灯总成。 | ||
申请公布号 | CN102656669B | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
申请号 | CN201080057454.2 | 申请日期 | 2010.12.06 |
申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 威廉·T·哈特;弗雷德·丹尼斯·埃格雷 |
分类号 | H01L21/302(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/302(2006.01)I |
代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 李献忠 |
主权项 | 用于脱气腔室的UV灯总成,包括多个平行UV灯和旋转式遮光器,每个旋转式遮光器包括包围UV灯的凹壁和自所述凹壁的纵向边缘向外延伸的两个法兰,所述旋转式遮光器被配置为在打开位置和关闭位置之间旋转,其中处于所述打开位置的所述旋转式遮光器被布置于所述UV灯上方以便将所述UV灯的UV光线反射到所述脱气腔室中,不阻挡所述UV灯的UV光线进入所述脱气腔室;且处于所述关闭位置的所述旋转式遮光器被布置于所述UV灯下方以便阻挡所述UV灯的UV光线进入所述脱气腔室,在所述关闭位置,相邻旋转式遮光器的所述法兰重叠以防止UV光线泄漏。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |