发明名称 阵列基板及其制备方法、液晶面板、液晶显示装置
摘要 本发明涉及存储技术领域,公开了一种阵列基板,包括薄膜晶体管,还包括闪存结构,所述闪存结构包括栅极、栅绝缘层、浮栅、浮栅绝缘层、有源层以及源漏极。上述阵列基板中的栅极、栅绝缘层、浮栅、浮栅绝缘层、有源层以及源漏极,形成了一种基于浮栅结构的非易失性闪存结构,从而将闪存结构集成在阵列基板中。所以,本发明提供的阵列基板内集成了基于浮栅结构的闪存结构。本发明还提供了一种具有上述阵列基板的液晶面板,和一种具有上述液晶面板的液晶显示装置,以及阵列基板的制备方法。
申请公布号 CN102879963B 申请公布日期 2015.02.04
申请号 CN201210374367.0 申请日期 2012.09.27
申请人 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 发明人 宣堃
分类号 G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;G11C16/06(2006.01)I 主分类号 G02F1/1362(2006.01)I
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人 李娟
主权项 一种阵列基板,包括薄膜晶体管,其特征在于,还包括闪存结构,所述闪存结构包括栅极、栅绝缘层、有源层、源漏极、浮栅以及浮栅绝缘层;所述浮栅与所述栅极以及所述源漏极正对的部位具有梳状结构。
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