一种具有原位测量效果的可拆除式独立真空腔体

摘要

本实用新型提供一种具有原位测量效果的可拆除式独立真空腔体，由主腔体(21)、阀门(22)、法兰(23)、观察窗(24)、离子规(25)、样品架(32)、样品加热装置(33)、磁力杆(34)、SAES吸气剂泵(42)及其所在小腔体(41)组成。本实用新型是在超高真空条件转移样品的不锈钢独立腔体，实现类似于原位测量的效果。该腔体可以整合材料生长设备与测量仪器等资源，有效增加不同实验室之间的合作机会。本实用新型设计简单、成本较低、功能强大。可以给样品进行简单的退火处理。本实用新型实现了样品生长设备与测试仪器的空间分离，给实验研究与合作带来了更多的可能性。

主权项

一种具有原位测量效果的可拆除式独立真空腔体，其特征在于：由主腔体(21)、阀门(22)、法兰(23)、观察窗(24)、离子规(25)、样品架(32)、样品加热装置(33)、磁力杆(34)、SAES吸气剂泵(42)及其所在小腔体(41)组成，样品架(32)用于放置样品，样品加热装置(33)用于简单加热处理样品，在主腔体(21)顶部和底部，预留有足够空间以便于样品架(32)上下自由移动时不会触碰到主腔体(21)内壁；对于磁力杆(34)，要求上下可移动范围要超过样品架(32)与加热装置(33)之间的距离，同时还要求磁力杆(34)能够360度旋转，这样每一个样品槽都能与法兰(23)对齐以方便传入以及传出样品；SAES吸附泵(42)所在小腔体(41)与主腔体(21)由阀门(22)相连，该小腔体(41)留有足够的空间，以全面发挥吸附泵的功效，从而保持该可拆除式独立真空腔体(14)的主腔体(21)达到10^‑9mbar的真空度。