一种压气机叶片涂层的制备方法及表面改性设备

摘要

本发明公开一种压气机叶片涂层的制备方法及表面改性设备，制备方法包括：将叶片装入表面改性设备的真空腔室中并抽真空，真空腔室上连接有第一弧源、第二弧源、MEVVA离子源、考夫曼离子源和氮气源；用考夫曼离子源对叶片表面进行清洗；用MEVVA离子源对叶片表面进行离子注入；用第一弧源和第二弧源在叶片表面上镀Ta-Cr-Al膜；用第一弧源、第二弧源以及氮气源在叶片表面上镀(Ta，Cr，Al)×N膜；依次重复完成镀膜。本发明通过采用阴极磁过滤和等离子体增强技术，改善了叶片复杂结构膜层沉积均匀性差的问题，同时采用新型的掺杂Al的Ta-Cr-N纳米多层膜提高叶片表面的耐高温腐蚀和冲蚀能力。

主权项

一种压气机叶片涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S10，准备一表面改性设备，所述表面改性设备具有真空腔室，所述真空腔室上连接有一第一弧源、一第二弧源、一MEVVA离子源、一考夫曼离子源和一氮气源，所述第一弧源采用铬铝合金靶，所述第二弧源采用钽靶，所述MEVVA离子源采用铬阴极；S20，将一叶片装入所述真空腔室中，所述真空腔室抽真空至6.0×10^‑4Pa到7.0×10^‑4Pa之间；S30，用所述考夫曼离子源对所述叶片表面进行清洗；S40，用所述MEVVA离子源对所述叶片表面进行离子注入；S50，用所述第一弧源和所述第二弧源在叶片表面上镀Ta‑Cr‑Al膜；S60，用所述第一弧源、所述第二弧源以及氮气源在叶片表面上镀(Ta,Cr,Al)×N膜；S70，依次重复所述步骤S40、S50和S60，同时进行所述步骤S30；S80，镀膜结束后，冷却，对所述真空腔室进行充气，取出完成镀膜的所述叶片。