一种测试光学整流罩膜层透过率的检测装置

摘要

本发明涉及一种测试光学整流罩膜层透过率的检测装置，该装置包括光源干涉仪、探测器、凹面反射镜、球心式测量平台及双轴测量转台，从光源干涉仪发出的水平测试光线，通过凹面反射镜转换成垂直方向上的会聚光线，会聚光线会聚在整流罩球心并以法线式透过被测整流罩，通过另一凹面反射镜会聚到探测器，检测出整流罩膜层透过率，然后旋转双轴测量平台，检测出全部整流罩膜层的透过率。本发明的技术方案能够解决目前光谱仪测量空间有限，不能全面检测整流罩整个膜层透过率及测量不准确的问题。

主权项

一种测试光学整流罩膜层透过率的检测装置，包括光源干涉仪、探测器，其特征在于，所述探测器与光源干涉仪上、下，水平设置，在探测器与光源干涉仪之间水平设置一个双轴测量转台，所述双轴测量转台能够在水平面内围绕垂直于水平面的轴线旋转，且能做俯仰运动，所述双轴测量转台用于放置待测整流罩；在靠近光源干涉仪和探测器的位置分别设置第一个凹面反射镜和第二凹面反射镜，第一凹面反射镜将光源干涉仪发出的水平光线转换成垂直方向会聚光线，所述垂直方向会聚光线会聚到待测整流罩球心后透过待测整流罩，第二凹面反射镜将透过待测整流罩的光线转换成水平方向会聚光线被探测器所接收。