| 发明名称 | 分面反射镜 | ||
| 摘要 | 一种投射曝光设备(1)中照明物场(5)的照明光学单元(4)，包括：具有一结构的第一分面反射镜(13)，该结构在至少一个方向上具有至少0.2mm<sup>-1</sup>的空间频率；以及第二分面反射镜(14)，其包括多个分面(14a)，其中所述分面(14a)分别设有抑制所述第一分面反射镜(13)的结构的空间频率的装置。 | ||
| 申请公布号 | CN104335096A | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
| 申请号 | CN201380026836.2 | 申请日期 | 2013.05.07 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 | 发明人 | S.比林;M.德冈瑟;J.万格勒 |
| 分类号 | G02B17/00(2006.01)I;G02B19/00(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B27/14(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 邱军 |
| 主权项 | 一种投射曝光设备(1)的照明光学单元(4)的分面反射镜(14)，包括多个分面(14a)，其中，所述分面(14a)分别设有抑制在一特定限制频率以上的空间频率的装置。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||