一种阴极电弧离子镀磁场调节装置

摘要

一种阴极电弧离子镀磁场调节装置，PVD镀膜机壳体内设有阴极靶座，阴极靶座上表面设有凹槽，靶材设在凹槽内，阴极靶座内设有水道，调节装置包括设在阴极靶座下表面的螺杆，磁铁装置设在螺杆上、并能沿螺杆移动；磁铁装置包括横截面为U型的不锈钢圆环，在不锈钢圆环的U型槽内设有永磁体，在不锈钢圆环中心孔壁上设有聚四氟层，聚四氟层表面有螺纹与螺杆面表相啮合。本实用新型在阴极电弧离子镀膜过程中，可根据靶材消耗及更换过程中将永磁体后退或前进，方便调节靶材表面磁场。同时永磁体和螺杆之间通过四氟绝缘，可以在靶材工作过程中，时时安全调节磁铁位置，保持弧电流，沉积速率及膜层性能的稳定性，保证镀膜工艺的稳定性和可重复性。本实用新型结构简单，调节方便、灵活、快捷、安全，且镀膜效果好。

主权项

一种阴极电弧离子镀磁场调节装置，PVD镀膜机壳体内设有阴极靶座（1），阴极靶座（1）上表面设有凹槽（2），靶材（3）设在凹槽（2）内，阴极靶座（1）内设有水道（4），其特征是：所述调节装置包括设在阴极靶座（1）下表面的螺杆（5），磁铁装置设在螺杆（5）上、并能沿螺杆（5）移动；所述磁铁装置（10）包括横截面为U型的不锈钢圆环（6），在不锈钢圆环（6）的U型槽内设有永磁体（7），在不锈钢圆环（6）中心孔壁上设有聚四氟层（8），聚四氟层（8）表面有螺纹与螺杆（5）面表相啮合。