晶舟

摘要

本实用新型提供一种晶舟，包括：若干支柱和位于所述若干支柱内侧的若干支撑部：所述支撑部包括第一支撑块和第二支撑块，所述第二支撑块设置于所述第一支撑块的上表面，且小于所述第一支撑块。可以在不影响晶圆制程均匀度、不减少晶舟放置晶圆数量的前提下，避免晶圆与晶舟摩擦产生的杂质颗粒污染晶圆，保证晶圆的洁净度，进一步保证了后续工艺设备的正常运作，确保了产品的良品率，降低了生产成本。

主权项

一种晶舟，其特征在于，包括若干支柱和位于所述若干支柱内侧的若干支撑部：所述若干支撑部沿所述支柱的纵向平行且间隔分布为多层，所述支撑部包括第一支撑块和第二支撑块，所述第二支撑块设置于所述第一支撑块的上表面，且小于所述第一支撑块。