相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准装置

摘要

本实用新型公布一种相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准装置，包括箱体和相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准系统，相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准系统设在箱体内；相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准系统包括检测管路、高真空校准分系统、低真空校准分系统、机械泵和分子泵；检测管路包括导气管、电阻规G₅、电磁隔断阀V₁₀、手动隔断阀V₁、微调阀V₅和电磁隔断阀V₉；电阻规G₅、电磁隔断阀V₁₀、分子泵、手动隔断阀V₁、微调阀V₅和电磁隔断阀V₉通过导气管依次连接。本实用新型不仅可以对各种型号的真空规进行测量，还实现了一装置多用途，降低计量成本，节省设备占用空间。

主权项

相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准装置，其特征在于，包括箱体(100)和相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准系统(200)，所述相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准系统(200)设在所述箱体(100)内；所述相对法高真空、相对法低真空及膨胀法一体式校准系统(200)包括检测管路、高真空校准分系统(203)、低真空校准分系统(204)、机械泵(201)和分子泵(202)；所述检测管路包括导气管、电阻规G₅(223)、电磁隔断阀V₁₀(213)、手动隔断阀V₁(205)、微调阀V₅(209)和电磁隔断阀V₉(212)；所述电阻规G₅(223)、所述电磁隔断阀V₁₀(213)、所述分子泵(202)、所述手动隔断阀V₁(205)、所述微调阀V₅(209)和所述电磁隔断阀V₉(212)通过导气管依次连接；所述机械泵(201)依次经过电磁放气阀V₁₂(215)和挡油阱(216)与位于所述电阻规G₅(223)和所述电磁隔断阀V₉(212)之间的所述检测管路导通连接，所述高真空校准分系统(203)与位于所述手动隔断阀V₁(205)和所述微调阀V₅(209)之间的所述检测管路导通连接，所述低真空校准分系统(204)与位于所述微调阀V₅(209)和所述电磁隔断阀V₉(212)之间的所述检测管路导通连接，位于所述手动隔断阀V₁(205)和所述微调阀V₅(209)之间的所述检测管路与位于所述微调阀V₅(209)和所述电磁隔断阀V₉(212)之间的所述检测管路经过手动隔断阀V₆(210)和膨胀阀V₇(211)导通连接，位于所述微调阀V₅(209)和所述电磁隔断阀V₉(212)之间的所述检测管路微调阀V₁₁(214)与氮气存储装置(227)导通连接。