| 发明名称 | 一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法，采用的膜层序列为Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air，制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方，逆向热蒸发；承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆，承载银(Ag)材料的主要部件为钨丝环，保护膜材料为一氧化硅(SiO)，装载于钽蒸发舟中；在氮气(N<sub>2</sub>)环境中蒸发Cr形成CrNx，在氧气(O<sub>2</sub>)环境中蒸发SiO形成SiOx。本发明具有工艺简单、操作方便、设备与材料成本低的优点，能够规避大型光学元件翻面带来的风险。 | ||
| 申请公布号 | CN104328378A | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
| 申请号 | CN201410614079.7 | 申请日期 | 2014.11.04 |
| 申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 裴文俊;刘洪祥 |
| 分类号 | C23C14/26(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人 | 杨学明;顾炜 |
| 主权项 | 一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法，其特征在于：待镀光学元件镜面朝上放置镀膜设备底部，所有材料蒸发源位于镜面上方，电阻加热式逆向热蒸发。 | ||
| 地址 | 610209 四川省成都市双流350信箱 | ||