发明名称 | 一种切割机卡具 | ||
摘要 | 本实用新型实施例公开了一种切割机卡具,实现了无需使用环氧树脂胶将石墨垫和半导体材料粘黏在内圆锯座上进行切割,进一步提高了切割效率。本实用新型实施例包括:内圆锯座和拓展卡座,与内圆锯座下方平行连接,拓展卡座开有用于卡住石墨垫的卡槽。 | ||
申请公布号 | CN204136258U | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
申请号 | CN201420189399.8 | 申请日期 | 2014.04.17 |
申请人 | 广东先导半导体材料有限公司 | 发明人 | 朱刘;刘留 |
分类号 | B28D7/04(2006.01)I;B28D5/02(2006.01)I | 主分类号 | B28D7/04(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 曹志霞 |
主权项 | 一种切割机卡具,包括内圆锯座,其特征在于,还包括: 拓展卡座,与所述内圆锯座下方平行连接,所述拓展卡座开有用于卡住石墨垫的卡槽。 | ||
地址 | 510030 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区 |