一种干涉型传感器臂长差的测量装置

摘要

本发明公开了一种干涉型传感器臂长差的测量装置，包括宽谱光源、马赫增德尔强度调制器、微波扫频源、功分器、直流稳压电源、高速光电探测器、射频放大器、移相器、混频器、低通滤波器、AD采样器和测量处理器。本发明测量装置打破了在纯光域上测量的思维模式，引入了微波信号，在不破坏传感器的情况下，利用其原有的光路结构将臂长差信号调制到光载微波的相位上，通过解调微波的相位，达到测量臂长差的目的；其主要的优势是成本低，测量范围大，精度高，实现成本低，不需要专用的仪器支持，另外能完成全自动测量，速度快且不需要人工调节，只需要将被测传感器接上测量设备就可以输出测量结果。

主权项

一种干涉型传感器臂长差的测量装置，其特征在于，包括：微波扫频源，用于产生正弦波形式的射频信号RF且该射频信号RF的频率在扫频范围内随时间单调变化；功分器，用于对所述的射频信号RF功率平分，输出两路相同的射频信号RF1～RF2；宽谱光源，用于产生宽谱激光；马赫‑曾德强度调制器，用于将射频信号RF1调制到宽谱激光上，进而将宽谱激光加载至干涉型传感器输入端；直流稳压电源，用于为马赫‑曾德强度调制器提供直流偏置电压，通过调节直流偏置电压的大小，使马赫‑曾德强度调制器工作在线性工作点上；高速光电探测器，用于将干涉型传感器输出端产生的光信号转换成电信号；射频放大器，用于对所述的电信号进行放大，得到射频信号RF3；移相器，用于调节射频信号RF2的相位，使其与射频信号RF3相位相同；混频器，用于对相位相同的两路射频信号RF2～RF3进行混频后输出中频信号；低通滤波器，用于对所述的中频信号进行滤波；AD采样器，用于对滤波后的中频信号进行采样；测量处理器，用于根据采样得到的中频信号以及射频信号RF的频率，计算出干涉型传感器的臂长差。