发明名称 |
一种长腔长微机电可调谐法布里-珀罗滤波器 |
摘要 |
本发明提供一种长腔长微机电可调谐法布里-珀罗滤波器,滤波器的上基板由双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层构成,“W”形体硅上表面以透明薄膜作为支撑膜,其上的反射膜作为法布里-珀罗滤波器的前腔镜,“W”形体硅下表面不同区域的浓硼掺杂层可分别作为悬臂梁和上电极。滤波器的下基板由石英玻璃构成,其上表面与前腔镜和上电极对应的区域分别制作有后腔镜和下电极,下表面与后腔镜对应的区域刻有衍射光栅。该微机电滤波器可方便获得200μm以上的初始腔长,能在不同方向上实现单一波长的滤波,具有窄半峰全宽和宽自由光谱范围的优点,在光通讯,光信息读取,激光技术等领域中有广泛的应用前景。 |
申请公布号 |
CN104330890A |
申请公布日期 |
2015.02.04 |
申请号 |
CN201410614452.9 |
申请日期 |
2014.11.04 |
申请人 |
中国科学院光电技术研究所 |
发明人 |
方亮;石振东;汪为民;王强;邱传凯;周崇喜;田中群 |
分类号 |
G02B26/00(2006.01)I |
主分类号 |
G02B26/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 |
代理人 |
杨学明;顾炜 |
主权项 |
一种长腔长微机电可调谐法布里‑珀罗滤波器,其特征在于,包括:-双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层,所述体硅及其下表面的浓硼掺杂层作为滤波器的上基板;-前腔镜支撑膜,所述前腔镜支撑膜位于“W”形体硅上表面四周镂空区域以内的所有区域;-前腔镜,所述前腔镜位于支撑膜的上表面;-悬臂梁,所述悬臂梁即为“W”形体硅四周镂空区域下方的浓硼掺杂层;-上电极,所述上电极即为“W”形体硅中央镂空区域与四周镂空区域之间体硅下表面的浓硼掺杂层;-石英基底,所述石英基底作为滤波器的下基板;-后腔镜,所述后腔镜位于石英基底上表面与前腔镜相对应的区域;-光栅,所述光栅位于石英基底下表面与后腔镜相对应的区域;-下电极,所述下电极位于石英基底上表面与上电极相对应的区域。 |
地址 |
610209 四川省成都市双流350信箱 |