台阶表面高度测量的单光栅干涉仪及台阶表面高度测量方法

摘要

本发明涉及测绘领域，特别是涉及台阶表面高度测量的单光栅干涉仪及台阶表面高度测量方法。针对目前台阶表面高度测量中测量结果容易受到光源波长干扰，造成测量结果系统误差大、随机误差大、精度低、准确度低的问题，提供一种全新的测量装置及方法。为了实现这一发明目的，我们公开了一种台阶表面高度测量的单光栅干涉仪，包括激光光源、三个透镜、一个平面光栅、一个带有两个针孔的光阑、一个图像传感器、一个正弦振动扬声器；采用本发明所公开的测量方法，无需考虑光源波长等因素，系统误差小、随机误差小，测量结果准确度高、精度高。

主权项

台阶表面高度测量的单光栅干涉仪，其特征在于：包括激光光源、三个透镜、一个平面光栅、一个带有两个针孔的光阑、一个图像传感器、一个正弦振动扬声器；所述激光光源置于待测台阶一侧，激光光源与待测台阶之间依次设置有一个透镜和一个平面光栅，所述平面光栅连接至正弦振动扬声器；所述激光光源发出一组与待测表面呈一定角度β的平行光，所述激光光源发出的平行光依次通过第一透镜和平面光栅，并在检测表面反射后形成反射光束；以反射光束为轴，依次设置有第二透镜、带有两个针孔的光阑、第三透镜，所述反射光束依次通过第二透镜、带有两个针孔的光阑、以及第三透镜，所述图像传感器置于第三透镜后侧，接收通过第三透镜的光束，得到反应物体平面图像的干涉条纹图案。