大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法

摘要

本发明公开一种大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法，装置包含数控机箱、主控计算机、被测件移动调整平台、动态干涉仪、干涉仪升降台、测量计算机。被测元件放置于被测件移动调整平台上，动态干涉仪安装在干涉仪升降台上，干涉仪升降台和被测件移动调整平台通过电缆与数控机箱连接，主控计算机与数控机箱通过信号线连接，与测量计算机通过网线连接。利用该装置可以通过测量子孔径区域拼接得到被测件全部面形，拼接测量主控软件集控制、测量、拼接计算于一体，易于操作。本发明采用动态干涉测量，降低了对测量环境的要求，可以在车间等非隔振条件下应用；采用干涉拼接技术扩大了测量范围；采用高精度移动调整平台精简了调整次数。

主权项

一种大口径光学元件动态干涉拼接测量装置，其特征在于，包含数控机箱（101）、主控计算机（102）、被测件移动调整平台（103）、动态干涉仪（105）、干涉仪升降台（106）、测量计算机（107），被测元件（104）放置于所述被测件移动调整平台（103）上，动态干涉仪（105）安装在所述干涉仪升降台（106）上；所述干涉仪升降台（106）和所述被测件移动调整平台（103）通过电缆与所述数控机箱（101）连接，所述主控计算机（102）与所述数控机箱（101）通过信号线连接，所述主控计算机（102）与所述测量计算机（107）通过网线连接，所述测量计算机（108）与动态干涉仪（105）通过信号线连接。