一种激光自混合干涉小角度测量方法及装置

摘要

本发明涉及激光自混合干涉小角度测量方法及装置，将激光器输出的激光束经聚焦透镜聚焦到旋转物体表面，入射线偏离旋转物体的角度旋转中心，激光器的输出功率用一光电探测器进行监测，当旋转物体发生小角度旋转时，光电探测器监测到的激光器输出功率将随着角度的变化而变化，通过预先定标好的角度和输出功率间的对应关系，来实现对被测物体旋转角度的测量。该测量装置结构简单、紧凑，测量精度高。

主权项

一种激光自混合干涉小角度测量方法，激光器（1）输出的激光束经聚焦透镜（4）聚焦到旋转物体（3）的反射面（2）上，激光束偏离旋转物体（3）的角度旋转中心，激光束经反射面（2）反射回激光器（1）中，引起激光自混合干涉，激光器（1）的输出功率用一光电探测器（6）进行监测，当旋转物体（3）发生小角度旋转时，光电探测器（6）监测到的激光器（1）的输出功率将随着角度的变化而变化，通过预先定标好的角度和输出功率间的对应关系，实现对旋转物体（3）旋转角度的测量，其特征在于：激光器（1）与旋转物体（3）的反射面（2）之间设置一个聚焦透镜（4），激光器（1）输出的激光束经聚焦透镜（4）聚焦到反射面（2）上。