磨削装置

摘要

本发明提供磨削装置，其既能够防止在修整板的上表面形成级差，又能够抑制修整板的消耗。磨削装置(10)至少具有对接触到保持在卡盘台(11)的被加工物(20)的磨削磨石(132)的磨削面进行修整的修整单元(14)，其中，修整单元(14)具有：保持部(141)，其保持圆板状的修整板(15)；推压单元(142)，其使保持部(141)在接近和远离磨削面的方向上移动，并将修整板(15)的上表面向磨削面推压；以及旋转单元(145)，其以在磨削磨石(132)的轨道上配置的旋转轴为中心使保持部(141)旋转，在使保持部(141)旋转的同时以规定的按压力将修整板(15)的上表面向磨削磨石(132)的磨削面推压，使磨削磨石(132)的磨削面与修整板(15)的上表面整面接触。

主权项

一种磨削装置，其至少具有：卡盘台，其具有以能够旋转的方式保持被加工物的保持面；磨削单元，其以能够旋转的方式安装有磨削轮，在该磨削轮上环状地配置有对保持在该卡盘台上的被加工物进行磨削的磨削磨石；磨削进给单元，其使该磨削单元在接近和远离该卡盘台的磨削进给方向上移动；以及修整单元，其对该磨削磨石的与保持在该卡盘台上的被加工物接触的磨削面进行修整，该修整单元具有：保持部，其保持对该磨削面进行修整的圆板状的修整板；推压单元，其使保持该修整板的保持部在接近和远离该磨削面的方向上移动，向该磨削面推压该修整板的上表面；调整单元，其对该推压单元向该磨削面推压该修整板的按压力进行调整；以及旋转单元，其以在该磨削轮进行旋转所致的该磨削磨石的轨道上配置的旋转轴为中心，使该保持部进行旋转，在使该保持部旋转的同时，以规定的按压力向该磨削磨石的该磨削面推压该修整板的上表面，从而修整该磨削面。