| 发明名称 | 悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 | ||
| 摘要 | 一种含有磨粒、添加剂和水的悬浮液，磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.00以上，并且，在将所述磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，使该水分散液对波长500nm的光的透光率在50％/cm以上，将所述磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液的N0<sub>3</sub><sup>-</sup>浓度、与将该水分散液以60℃保持72小时后的N0<sub>3</sub><sup>-</sup>浓度的差为200ppm以下。 | ||
| 申请公布号 | CN104335331A | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
| 申请号 | CN201380026779.8 | 申请日期 | 2013.03.26 |
| 申请人 | 日立化成株式会社 | 发明人 | 岩野友洋;南久贵;阿久津利明;藤崎耕司 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I;B24B37/00(2012.01)I;C09K3/14(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 杜娟 |
| 主权项 | 一种悬浮液，其含有磨粒和水，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.00以上，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长500nm的光的透光率在50％/cm以上，将所述磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液的NO<sub>3</sub><sup>‑</sup>浓度，与将该水分散液以60℃保持72小时后的NO<sub>3</sub><sup>‑</sup>浓度的差为200ppm以下。 | ||
| 地址 | 日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号 | ||