用于沉积聚合物材料的工艺腔室和该工艺腔室中用的喷头

摘要

本文提供了用于沉积聚合物材料的工艺腔室和该工艺腔室中用的喷头。在一些实施方式中，在被配置用于沉积聚合物材料的工艺腔室中使用的喷头可包括：区隔板，具有多个通孔以允许包含聚合物的工艺气体流经所述区隔板；和主体，设置在区隔板之下，由不锈钢制造，所述主体具有：多个通孔，以允许气体通过主体的流动；和加热器，嵌入在主体之内以当包含聚合物的工艺气体流经主体时，将主体保持在适合于促使包含聚合物的工艺气体分解的温度下。

主权项

一种在被配置用于沉积聚合物材料的工艺腔室中使用的喷头，其特征是所述喷头包括：区隔板，所述区隔板具有多个通孔，以允许包含聚合物的工艺气体流经所述区隔板；和主体，所述主体设置在所述区隔板之下，由不锈钢制造，所述主体具有：多个通孔，以允许气体通过所述主体的流动；和加热器，所述加热器嵌入在所述主体之内以当所述包含聚合物的工艺气体流经所述主体时，将所述主体保持在适合于促使所述包含聚合物的工艺气体分解的温度下。