发明名称 | 一种研磨垫 | ||
摘要 | 本实用新型提供一种研磨垫,所述研磨垫包括:研磨垫体;形成于所述研磨垫体表面的若干个圆环形沟槽;以及形成于所述研磨垫体边缘区域的台阶结构。本实用新型在研磨垫边缘设置有若干梯度相等的台阶,并在在每个台阶的表面形成不同颜色涂层,在研磨过程中,通过观看不同区域的颜色,就可以看出研磨垫沟槽的深度,从而可以直观判断出研磨垫的剩余寿命,大大降低了时间成本和人力成本。本实用新型结构简单,适用于工业生产。 | ||
申请公布号 | CN204135871U | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
申请号 | CN201420581031.6 | 申请日期 | 2014.10.09 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 | 发明人 | 魏红建 |
分类号 | B24B37/26(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/26(2012.01)I |
代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 李仪萍 |
主权项 | 一种研磨垫,其特征在于,所述研磨垫包括:研磨垫体;形成于所述研磨垫体表面的若干个圆环形沟槽;以及形成于所述研磨垫体边缘区域的台阶结构。 | ||
地址 | 100176 北京市大兴区大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |