清理工具

摘要

本实用新型提供一种清理工具，所述清理工具包括杆体、可旋转的擦拭部件、连接部和驱动装置。所述清理工具设有驱动装置和可旋转的擦拭部件，通过驱动装置驱动所述擦拭部件进行旋转，可以实现对离子注入机内大面积区域和较小空间区域等不同区域进行清理。相较于传统的人工清理，本实用新型的清理工具能够彻底清理离子注入机内的膜状污染物，提高了清理的效率，缩短了机台保养的周期，避免了对精密部件的损坏，大大降低了成本。

主权项

一种清理工具，其特征在于，所述清理工具包括：杆体；擦拭部件，所述擦拭部件表面设有擦刮布；连接部，所述连接部一端与所述杆体的一端相连接，另一端与所述擦拭部件相连接；驱动装置，所述驱动装置与所述连接部和所述擦拭部件相连接，适于驱动所述擦拭部件旋转。