一种Pt薄膜热敏电阻的制备方法

摘要

一种Pt薄膜热敏电阻的制备方法，属于电子元件的制备领域。对基片进行处理，首先用纯净水冲洗，用纱布擦净基片表面，在室温下用铬酸洗液浸泡，再用纯净水冲洗，并用酒精、丙酮涤荡后，用四氯化碳、丙酮和酒精先后各两次超声波清洗10min；采用溅射镀膜的方式在基片上进行镀膜处理；在薄膜上设置细长条折线。通过对其工艺的改进，采用溅射镀膜的方式可使膜与基片的附着力增强，膜的纯度高，重复性好，成膜速率高，可以在较低的温度下制备薄膜。本发明所述Pt薄膜热敏电阻的制备方法操作简单，易于推广。

主权项

一种Pt薄膜热敏电阻的制备方法，其特征在于包括如下步骤：（1）对基片进行处理，首先用纯净水冲洗，用纱布擦净基片表面，在室温下用铬酸洗液浸泡，再用纯净水冲洗，并用酒精、丙酮涤荡后，用四氯化碳、丙酮和酒精先后各两次超声波清洗10 min；（2）采用溅射镀膜的方式在基片上进行镀膜处理；（3）在步骤（2）完成镀膜的薄膜上设置细长条折线。