材料气体浓度控制装置

摘要

一种材料气体浓度控制装置，用于材料气化系统，所述材料气化系统包括贮槽，收纳材料；导入管，将使被收纳的材料气化的载气导入所述贮槽；及导出管，从所述贮槽中导出材料气化而成的材料气体及所述载气的混合气体；所述材料气体浓度控制装置包括基体，具有连接于所述导出管，以使所述混合气体流动的内部流路；浓度测量部，对在所述内部流路中流动的混合气体中的材料气体的浓度进行测量；及第1阀，在所述内部流路中设置在所述浓度测量部的下游，对由所述浓度测量部测量的测量浓度进行调节；且所述浓度测量部及所述第1阀安装在所述基体上。

主权项

一种材料气体浓度控制装置，用于材料气化系统，所述材料气化系统包括：贮槽，收纳材料；导入管，将使被收纳的材料气化的载气导入所述贮槽；以及导出管，从所述贮槽中导出所述材料气化而成的材料气体及所述载气的混合气体，其特征在于所述材料气体浓度控制装置包括：基体，具有连接于所述导出管，用来使所述混合气体流动的内部流路；浓度测量部，对在所述内部流路中流动的所述混合气体中的所述材料气体的浓度进行测量；以及第1阀，在所述浓度测量部的下游，通过控制第1阀的开度以控制所述混合气体的总压，藉此将由所述浓度测量部测量的测量浓度调节为预定的设定浓度；且，所述浓度测量部及所述第1阀安装在所述基体上。