| 发明名称 | 一种旋转靶材自转传动组件 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种旋转靶材自转传动组件，包括水冷电机、第一斜齿轮、第二斜齿轮、轴承、轴承座和靶材芯轴，所述水冷电机、第一斜齿轮、第二斜齿轮、轴承、轴承座、靶材芯轴均设置在真空腔体内，所述水冷电机通过转轴与所述第一斜齿轮传动连接，所述第一斜齿轮与第二斜齿轮相互啮合传动连接，所述靶材芯轴通过所述轴承固定在所述轴承座上且与所述第二斜齿轮传动连接；水冷电机设在腔体内，并通过斜齿轮传动，保证腔体长时间使用后密封性也不会受影响，同时作业中产生的粉尘不易沉积，保证旋转靶材转动不会受到影响，极大的提高了喷涂效率。 | ||
| 申请公布号 | CN204134845U | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
| 申请号 | CN201420376005.X | 申请日期 | 2014.07.09 |
| 申请人 | 厦门映日新材料科技有限公司 | 发明人 | 罗文富 |
| 分类号 | B05C13/02(2006.01)I;F16H1/04(2006.01)I | 主分类号 | B05C13/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种旋转靶材自转传动组件，其特征在于：包括水冷电机（1）、第一斜齿轮（2）、第二斜齿轮（3）、轴承（4）、轴承座（5）和靶材芯轴（6），所述水冷电机（1）、第一斜齿轮（2）、第二斜齿轮（3）、轴承（4）、轴承座（5）、靶材芯轴（6）均设置在真空腔体内，所述水冷电机（1）通过转轴（11）与所述第一斜齿轮（2）传动连接，所述第一斜齿轮（2）与第二斜齿轮（3）相互啮合传动连接，所述靶材芯轴（6）通过所述轴承（4）固定在轴承座（5）上且与所述第二斜齿轮（3）传动连接。 | ||
| 地址 | 361101 福建省厦门市同安区洪塘镇苏厝村73号(原同安324国道收费站旁) | ||