| 摘要 |
Le procédé de fabrication d'une microbatterie au lithium, est réalisé à partir d'un empilement de couches comportant successivement : une première couche (11) en premier matériau, une deuxième couche (12) en deuxième matériau, une couche d'électrolyte (13) solide, et une première électrode (14). Le procédé comporte en outre une gravure pour former un premier motif (M1) en premier matériau et un deuxième motif (M2) en deuxième matériau, le deuxième motif définissant une zone couverte (13") et une zone découverte (13') de la couche d'électrolyte (13). La zone découverte (13') est ensuite gravée, en utilisant le deuxième motif (M2) comme masque de gravure. Après la gravure du premier motif (M1), une couche à base de lithium est formée sur le deuxième motif (M2), la couche à base de lithium et le deuxième motif formant une deuxième électrode à base de lithium. |
