一种LED芯片退火装置

摘要

本发明涉及LED芯片制造设备，进一步是指用于LED芯片制作设备中的退火装置，包括储存晶圆的晶圆盒、对晶圆进行退火处理的工艺腔，工艺腔的腔体内部设置石英隔离腔，并在石英隔离腔与工艺腔的内壁之间均匀设有卤素灯管；晶圆盒的输出端口外侧设有与晶圆盒在同一水平面的可容纳一个晶圆的缓存站，并在晶圆盒的底部设有向缓存站输送晶圆的输送带；该退火装置还包括托盘，退火装置还设有将晶圆盒内的晶圆运送至拖盘各晶圆格内的输送机构。本发明所述LED芯片退火装置，工艺腔内的卤素灯和工艺腔体的设计可实现快速退火，而设置的托盘及输送机构则可以实现多个晶圆同时进入工艺腔，自动化程度高，提高效率。

主权项

一种LED芯片退火装置，包括储存晶圆（8）的晶圆盒（7）、对晶圆（8）进行退火处理的工艺腔（1），其特征是，所述工艺腔（1）的腔体内部设置石英隔离腔，并在石英隔离腔与工艺腔（1）的内壁之间均匀设有卤素灯管；所述晶圆盒（7）的输出端口外侧设有与晶圆盒（7）在同一水平面的可容纳一个晶圆（8）的缓存站（5），并在晶圆盒（7）的底部设有向缓存站（5）输送晶圆的输送带（4）；该退火装置还包括托盘（6），所述缓存站（5）置于托盘（6）与晶圆盒（7）之间，托盘（6）的顶面设有多个晶圆格（11），每个晶圆格（11）内可容纳一个晶圆（8），所述退火装置还设有将晶圆盒（7）内的晶圆（8）运送至拖盘各晶圆格（11）内的输送机构；所述托盘（6）安装在与驱动机构连接的支架（10）上，所述支架（10）经驱动机构驱动而带动托盘（6）进入工艺腔（1）的隔离腔内部。