一种紧凑型布局的薄膜沉积设备

摘要

一种紧凑型布局的薄膜沉积设备，主要解决现有半导体薄膜沉积设备体积庞大，占地空间大及洁净间资源浪费等问题。它包括晶圆存储组件，在晶圆存储组件中放置晶圆，作为晶圆传入、传出过程中的堆栈及存储区域，主传片室中设有传片机械手，由机械手进行从晶圆存储组件取送片或从副传片室取送片操作，副传片室中有直线式传输机构对反应室进行晶圆的取送片操作。并可根据不同工艺流程要求挂载其他形式或功能的腔室。采用多边形组件合理布局，结构紧凑，通过对各组件所需最小空间尺寸的计算，整合各模块配合方式，可以有效的减少占地面积，节约洁净间成本。还可以根据不同的工艺制程要求挂载不同形式及功能的模块组件，增强组件的自由性及互换性。

主权项

一种紧凑型布局的薄膜沉积设备，包括晶圆存储组件(1)，其特征在于：在晶圆存储组件(1)中放置晶圆，作为晶圆传入、传出过程中的堆栈及存储区域，主传片室(2)中设有传片机械手(3)，由机械手(3)进行从晶圆存储组件(1)取送片或从副传片室(4)取送片操作，副传片室(4)中有直线式传输机构对反应室(5)进行晶圆的取送片操作，上述晶圆存储组件(1)、主传片室(2)及副传片室(4)的形状呈多边形。