一种LCOS微显示器件液晶盒结构及其制造方法

摘要

本发明涉及一种LCOS微显示器件液晶盒结构及其制造方法，所述的液晶盒结构呈层状结构，包括上电极层、液晶材料层、纳米柱以及硅基衬底层，其上电极层为石墨烯膜平板玻璃，纳米柱采用氧化锌或者二氧化钛纳米柱；其制造方法包括以下步骤：A)制备硅基衬底层；B)在硅基衬底层上制备纳米柱，得到带有纳米柱的硅基衬底层；C)将石墨烯膜平板玻璃与带有纳米柱的硅基衬底层对接，组装成液晶盒；D)在液晶盒内灌注液晶材料，形成液晶材料层。与现有技术相比，本发明透光率高，液晶盒厚度容易控制，并且工作温度可以达到60度，从而使得器件的显示性能大大提高。

主权项

一种LCOS微显示器件液晶盒结构，其特征在于，所述的液晶盒结构呈层状结构，包括上电极层、液晶材料层、纳米柱以及硅基衬底层，所述的硅基衬底层位于下层，上电极层位于上层，液晶材料层和纳米柱位于中层，通过改变纳米柱的高度调节液晶盒的厚度，所述的上电极层为石墨烯膜平板玻璃，所述的纳米柱为氧化锌或者二氧化钛纳米柱。