具有射频(RF)返回路径的基板支撑件

摘要

在此提供具有射频(RF)返回路径的基板支撑件的实施方式。在一些实施方式中，基板支撑件可包括介电支撑主体、夹具电极和RF返回路径电极，所述介电支撑主体具有支撑表面和相对的第二表面，所述支撑表面用以在其上支撑基板；所述夹具电极位于支撑主体内并靠近支撑表面；所述RF返回路径电极位于介电支撑主体的第二表面上。在一些实施方式中，基板处理系统可包括处理腔室、屏蔽件和基板支撑件，所述处理腔室具有内容积；所述屏蔽件将内容积分为处理容积和非处理容积，并且所述屏蔽件朝向处理腔室的天花板延伸；基板支撑件位于屏蔽件下方，其中所述基板支撑件如以上所描述。

主权项

一种基板支撑件，包括：介电支撑主体，所述介电支撑主体具有支撑表面和相对的第二表面，所述支撑表面用以在其上支撑基板；夹具电极，所述夹具电极位于所述支撑主体内并靠近所述支撑表面；和RF返回路径电极，所述RF返回路径电极位于所述介电支撑主体的所述第二表面上，其中所述RF返回路径电极被图案化为多个部分。