| 摘要 |
本発明は、干渉計及びそれを用いた光学装置に関するものである。従来の光学装置は、干渉縞が鮮明でなく、光源と干渉計との間の距離に制約があるため、高精度の制御装置が必要であるという問題があった。そこで、本発明は、干渉計の波長板を制御することで、偏光ビームスプリッタにより分割される対象光と基準光の振幅を非対称として、干渉縞の明暗を調節することができるように改善するとともに、光学装置の光源としてチューナブルレーザを用い、周波数走査方式を適用することで、光源と干渉計との間の距離に制約がないようにした。本発明による干渉計及び光学装置は、偏光ビームスプリッタに入射される直線偏光された光の偏光方向を制御することができる波長板、偏光ビームスプリッタ、対象光及び基準光が撮像装置で干渉可能となるように偏光を変換する波長板及び偏光板を含む。【選択図】図１ |
