テラヘルツエリプソメーターシステム及びその使用方法

摘要

【課題】テラヘルツ周波数帯域で動作するエリプソメーターである。【解決手段】基本的で好ましいシステムであるこのエリプソメーターの実施例は、順次、後進波発振器(BWO)；第1の回転可能なワイヤーグリッド偏光子(WGP1)；第1の回転子(RE1)(回転型ワイヤーグリッド偏光子(RWGP))；サンプル(S)を支持するためのステージ(STG)；第2の回転子(RE2)(第1(RP)、第2(RM1)、第3(RM2)、そして第4(RM3)反射素子を備えて構成される回転型遅延子(RRET))；第2の回転可能なワイヤーグリッド偏光子(WGP2)；そしてゴーレイセル検出器(DET)を備えている。【選択図】図1