| 摘要 |
本発明は、真空ポンプに対するアダプタに関し、このアダプタは、環状入力フランジ（１５）と、出力カプリング（１６）とを備え、環状入力フランジ（１５）は、チャンバの吐出孔に結合するようになっており、出力カプリング（１６）は、少なくとも２つの円筒状ハウジング（２１）を備え、少なくとも部分的に、それぞれのターボ分子真空ポンプ（３）のケース（４）に対するポンプケーシングを形成している。前記ターボ分子真空ポンプ（３）は、それぞれの円筒状貫通ハウジング（２１）の中に収容されるようになっている。本発明はまた、ポンピング装置に関し、このポンピング装置は、上記で説明した真空ポンプ（３）に対するアダプタと、少なくとも部分的に、それぞれの円筒状出力ハウジング（２１）の中に収容された、少なくとも２つのターボ分子真空ポンプ（３）を備えている。【選択図】図３ |
