发明名称 真空エフェクタ及び使用方法
摘要 <p>(a)被包囲開口部を画定し、かつリップ平面を画定するリム部を有する壁部と、(b)負圧源と、(c)リム部を覆うシュラウドと、(d)任意選択的に、被包囲開口部に架け渡された透過性の支持部材と、を備える、真空エフェクタであって、支持部材が実質的に平坦であり、かつリップ平面から選択された深さに凹設されている、真空エフェクタ。また、そのような真空エフェクタを使用して加工物を操作する方法。</p>
申请公布号 JP2015503459(A) 申请公布日期 2015.02.02
申请号 JP20140550492 申请日期 2012.12.28
申请人 发明人
分类号 B25J15/06;H01L21/683 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
主权项
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