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发明名称
真空エフェクタ及び使用方法
摘要
<p>(a)被包囲開口部を画定し、かつリップ平面を画定するリム部を有する壁部と、(b)負圧源と、(c)リム部を覆うシュラウドと、(d)任意選択的に、被包囲開口部に架け渡された透過性の支持部材と、を備える、真空エフェクタであって、支持部材が実質的に平坦であり、かつリップ平面から選択された深さに凹設されている、真空エフェクタ。また、そのような真空エフェクタを使用して加工物を操作する方法。</p>
申请公布号
JP2015503459(A)
申请公布日期
2015.02.02
申请号
JP20140550492
申请日期
2012.12.28
申请人
发明人
分类号
B25J15/06;H01L21/683
主分类号
B25J15/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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