| 摘要 |
<p>本発明は、アルキルアミドの混合物を有する剥離用組成物を開示する。剥離用組成物が、Ｎ−メチルホルムアミド５０〜７０重量％と、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド３０ ５０重量％と、水である残部とを含む。剥離用組成物が、水と混和性であり、銅または銅合金に対して非腐蝕性であり、かつ人と環境に対して毒性が低いという利点を有する。剥離用組成物が２つの主成分を含むため、使用済みの剥離液が容易に分別蒸留によって回収され、元の配合に再組成され、製造プロセスにおいて再利用されて、コスト削減および環境保護などの利益を提供することができる。また、本発明において、剥離用組成物を使用してフォトレジストを除去するための方法も開示される。</p> |
