金属コーティングを有する超研磨材を含む粒状研磨材

摘要

粒状材料は、外面を備えた超研磨材を有する研磨粒子と、研磨粒子の外面を覆う金属を含むコーティングとを含む。このコーティングは約２６０ｎｍ以下の平均ドメインサイズを有するドメインを含み得て、コーティングは研磨粒子とコーティングとの総重量の約１〜約２０重量％を占め得る。【選択図】図１