薄膜帮浦组件

主权项

一种薄膜帮浦组件，包括：一本体，包括：一基材；一凹槽，位于该基材之表面；一进入管，连通于该凹槽；及一输出管，连通该凹槽；及一薄膜，包括：一第一区域，覆盖于该凹槽之开口；及一第二区域，连接于该第一区域，其中该第一区域之上表面高于该第二区域之上表面。