基板清洁设备

主权项

一种基板清洁设备，系包含有：一基板插入导向单元，系用以自外部插入一基板；一杂质去除单元，系自该基板插入导向单元接收一基板用以去除该基板之上形成之杂质；一杂质清洁单元，系用以自该杂质去除单元接收该基板且清洁及去除该基板之上保留之杂质；以及一位置控制单元，系用以控制自该杂质清洁单元运送出之基板之位置，其中该杂质清洁单元包含有：具有复数个紧固孔之复数个插入块，一具有复数条沟道之多孔清洁面板，在该多孔清洁面板之中，该等插入块被分别插入至以固定间隔形成于每一该等沟道内的多个凹槽之中，以及一具有复数个紧固螺钉之歧管，每一该等紧固螺钉分别通过该等插入块之中的每一该等紧固孔插入，用以与该多孔清洁面板相结合。