| 摘要 |
本发明提供一种起泡少、切削性能高之固定研磨粒线锯用水溶性切削液、使用其之铸锭的切削方法及由其所得之电子材料用基板。;一种固定研磨粒线锯用水溶性切削液，其含有化学式(1)表示之(a)2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇(2,4,7,9-tetramethyl-5-decyne-4,7-diol)之伸烷基(alkylene)加成物。又，一种铸锭之切削方法及由该切削方法所得之电子材料用基板，该铸锭之切削方法，系使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切削液，藉由固定研磨粒线锯切削铸锭而获得作为电子材料基板之晶圆。 |
