| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53111278(A) |
申请公布日期 |
1978.09.28 |
| 申请号 |
JP19770026247 |
申请日期 |
1977.03.10 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
KOTANI SHIGEO;YANAI NOBUHARU |
| 分类号 |
H01L21/283;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/52;H01L21/54;H01L21/56 |
主分类号 |
H01L21/283 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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