微机电装置与其制造方法

主权项

一种用以制造一微机电装置之方法，其包含：提供一第一基板具有一第一表面以及相反之一第二表面，该第一基板包含一或多个电极以及控制电路，其中该第一基板包含一第一接合区域设置于该第一表面，以及一第二接合区域设置于该第一表面；提供一第二基板具有一第一表面及一第二表面；将该第二基板与该第一基板接合以致该第二基板至少部分之该第一表面与该第一基板之该第一接合区域接触；形成一微机电装置于该第二基板中；提供一第三基板包含一凹槽区域，其以复数托脚结构围成；以及将该第三基板与该第一基板之该第一表面接合，以使该微机电装置包围于该凹槽区域内，其中该些托脚结构与该第一基板之该第二接合区域接触，且该第二基板与该第一基板间透过该第一接合区域而存有一第一导电路径，该第三基板与该第一基板间透过该第二接合区域而存有一第二导电路径。