| 发明名称 | 太阳能电池的制造方法 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI472049 | 申请公布日期 | 2015.02.01 |
| 申请号 | TW098142746 | 申请日期 | 2009.12.14 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 林景熙;黄建荣;丁 密特 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L31/042 | 主分类号 | H01L31/18 |
| 代理机构 | 代理人 | 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 | |
| 主权项 | 一种太阳能电池的制造方法，包括：对一矽基板进行一切割损害去除处理；对该矽基板的表面进行一常压电浆处理，使该矽基板具有一不规则表面，其中该常压电浆处理的射频功率密度为19.9W/mm2~254.8W/mm2；对该不规则表面进行一金属活化选择性氧化(metal-activated selective oxidation)；使用一水溶液蚀刻该不规则表面，使该矽基板具有一微观织构表面；对矽基板进行掺质扩散制程，以于该矽基板中形成P-N接面；于该矽基板上形成一抗反射层；以及于该矽基板上形成一电极。 | ||
| 地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 | ||