薄型化无尘室风机乾盘管冷却机组

主权项

一种薄型化无尘室风机乾盘管冷却机组，其包括：一机壳，该机壳两侧分别设有滤网框架；两HEPA/AMC滤网，可装设于机壳两侧之滤网框架中；一进风格栅，其装设于该薄型化风机乾盘管冷却机组底部做为回风口；两直立式乾盘管安装于机壳内部内侧，该两直立式乾盘管系设计成倒直角三角状而在其中形成一容置空间；一送风风机，其装设于直立式乾盘管所形成之容置空间内；由上述元件组成之薄形化无尘室风机乾盘管冷却机组系装设于无尘室天花板气室内用以调节无尘室内制程机台所产生之热源及导引无尘室的净化空气，其特征在于两直立式乾盘管呈倒直角三角状而可容置送风风机，两者之间做最佳化的空间排列以降低机组整体高度，节省机组安装空间以增加无尘室内之实际使用面积及降低机组之噪音震动及耗电量。