共焦点测量装置

主权项

一种共焦点测量装置，具备：光源，射出复数个波长的光；复数个共焦点光学部，使自前述光源射出的光产生轴上色差，将产生该轴上色差的光照射在测量对象物，同时使要在前述测量对象物对焦的光通过；1个分光部，按每个波长将光施行分光；导光部，将通过前述复数个共焦点光学部的光引导到前述分光部；光接收部，将用以接收前述分光部分光之光的光接收元件朝前述分光部的分光方向作1维排列；及控制部，从前述光接收部接收的光求得和前述复数个共焦点光学部的每一个对应的尖峰波长。