具有经选择性掺杂导电氧化物层之太阳能电池及其制备方法;SOLAR CELL WITH SELECTIVELY DOPED CONDUCTIVE OXIDE LAYER AND METHOD OF MAKING THE SAME

摘要

本发明系关于制备经涂覆基板之方法，该基板具有透明导电氧化物层且掺杂物选择性分布于该层中，该方法包含将氧化物前驱物材料及掺杂物前驱物材料选择性供应至多单元化学气相沈积涂覆机之各涂覆单元，其中选择所供应掺杂物材料之量以改变所得涂层中掺杂物含量对涂层深度。